收藏!一文全解水平电镀原理!

time : 2022-11-08 09:41       作者:凡亿pcb

随着微电子技术的日臻向上,印刷电路板制造正朝着多层化、积层化、功能化和集成化方向快速发展,传统的垂直电镀工艺已不能满足高质量、高可靠性互连孔的技术要求。因此,水平电镀技术应运而生。它是垂直电镀技术发展的延续,即在垂直电镀技术的基础上发展起来的一种新的电镀技术。今天,我们就来介绍一下水平电镀的原理吧!

水平电镀原理

水平电镀和垂直电镀的方法和原理相同。它们必须有阴阳两极。通电后会发生电极反应,使电解液的主要成分电离,使带电的正离子移动到电极反应区的负相;带电负离子移动到电极反应区的正相,导致金属沉积涂层和气体排放。因为金属在阴极的沉积过程分为三个步骤:金属的水合离子扩散到阴极;第二步是当金属水合离子通过双电层时,它们逐渐脱水并吸附在阴极表面;第三步是吸附在阴极表面的金属离子接受电子并进入金属晶格。由于静电作用,该层比亥姆霍兹外层小,并且受到热运动的影响。阳离子排列不像亥姆霍兹外层那样紧密和整齐。该层称为扩散层。扩散层的厚度与镀液的流速成反比。即镀液流速越快,扩散层越薄,越厚。通常,扩散层的厚度约为5-50微米。在远离阴极的地方,通过对流到达的镀液层称为主镀液。因为溶液的对流会影响镀液浓度的均匀性。扩散层中的铜离子通过扩散和离子迁移传输到亥姆霍兹外层。主镀液中的铜离子通过对流和离子迁移被输送到阴极表面。在水平电镀过程中,镀液中的铜离子以三种方式传输到阴极附近,形成双电层。


在电埸的作用下,电镀液中的离子受静电力而引起离子输送称之谓离子迁移。其迁移的速率用公式表示如下:u=zeoE/6πrη要。其中u为离子迁移速率、z为离子的电荷数、eo为一个电子的电荷量(即1.61019C)、E为电位、r为水合离子的半径、η为电镀液的粘度。根据方程式的计算可以看出,电位E降落越大,电镀液的粘度越小,离子迁移的速率也就越快。


镀液的对流是由外部和内部机械搅拌和泵搅拌、电极本身的摆动或旋转以及由温差引起的镀液流动引起的。在靠近固体电极表面的位置,由于其摩擦阻力的影响,电镀液的流动变得越来越慢,固体电极表面的对流速度为零。从电极表面到对流槽形成的速率梯度层称为流动界面层。流动界面层的厚度约为扩散层的10倍,因此扩散层中的离子输运几乎不受对流的影响。


根据电沉积理论,在电镀过程中,阴极上的印刷电路板是一个非理想极化电极。吸附在阴极表面的铜离子获得电子并被还原为铜原子,这降低了阴极附近铜离子的浓度。因此,在阴极附近会形成铜离子浓度梯度。铜离子浓度低于主镀液的镀液是镀液的扩散层。主镀液中铜离子浓度高,会扩散到阴极附近铜离子浓度低的地方,不断补充阴极区域。印刷电路板类似于平面阴极,其电流的大小与扩散层的厚度的关系式为COTTRELL方程式:


其中I为电流、z为铜离子的电荷数、F为法拉第常数、A为阴极表面积、D为铜离子扩散系数(D=KT/6πrη),Cb为主体镀液中铜离子浓度、Co为阴极表面铜离子的浓度、D为扩散层的厚度、K为波次曼常数(K=R/N)、T为温度、r为铜水合离子的半径、η为电镀液的粘度。当阴极表面铜离子浓度为零时,其电流称为极限扩散电流ii:

水平电镀原理

PCB电镀的关键是如何保证基板两侧和通孔内壁铜层厚度的均匀性。为了获得涂层厚度的均匀性,必须确保印制板两侧和通孔中的镀液流速应快速一致,以获得薄而均匀的扩散层。为了获得薄而均匀的扩散层,根据目前水平电镀系统的结构,虽然系统中安装了许多喷咀,但它可以将镀液快速垂直地喷射到印制板上,从而加快镀液在通孔中的流速,因此镀液流速非常快,并且在基板和通孔的上下部分形成涡流,从而使扩散层减少且更均匀。但是,一般情况下,当镀液突然流入狭窄的通孔时,通孔入口处的镀液也会出现反向回流现象。此外,由于一次电流分布的影响,由于尖端效应,入口孔处的铜层厚度过厚,通孔内壁形成狗骨状铜涂层。根据镀液在通孔内的流动状态,即涡流和回流的大小,以及导电镀通孔质量的状态分析,控制参数只能通过工艺测试方法确定,以实现印刷电路板电镀厚度的均匀性。由于涡流和回流的大小无法通过理论计算得到,因此只能采用测量过程的方法。从测量结果可知,为了控制通孔镀铜层厚度的均匀性,需要根据印刷电路板通孔的纵横比调整可控的工艺参数,甚至选择分散能力强的镀铜溶液,添加合适的添加剂,改进供电方式,即反向脉冲电流电镀,获得分布能力强的铜镀层。


从上式可看出,极限扩散电流的大小决定于主体镀液的铜离子浓度、铜离子的扩散系数及扩散层的厚度。当主体镀液中的铜离子的浓度高、铜离子的扩散系数大、扩散层的厚度薄时,极限扩散电流就越大。根据上述公式得知,要达到较高的极限电流值,就必须采取适当的工艺措施,也就是采用加温的工艺方法。因为升高温度可使扩散系数变大,增快对流速率可使其成为涡流而获得薄而又均一的扩散层。从上述理论分析,增加主体镀液中的铜离子浓度,提高电镀液的温度,以及增快对流速率等均能提高极限扩散电流,而达到加快电镀速率的目的。水平电镀基于镀液的对流速度加快而形成涡流,能有效地使扩散层的厚度降至10微米左右。故采用水平电镀系统进行电镀时,其电流密度可高达8A/dm2。


特别是随着层压板中微盲孔数量的增加,不仅应采用水平电镀系统进行电镀,还应采用超声波振动促进微盲孔中镀液的更换和循环,然后改进供电方式,利用反向脉冲电流和实际测试数据调整可控参数。


水平电镀是基于垂直电镀上发展而来的电镀法,从某个角度上说是垂直电镀的完善和延伸,所以理解水平电镀的原理非常重要,希望本文可以为您提供一些帮助!